Aktuelle Forschungsprojekte

BMWi Verbundvorhaben: Inline-fähige Raman-Spektroskopie zur Oberflächen- und Kontaminationsanalyse an Siliziumwafern (Kurztitel: "RaClean")

KurzbeschreibungZur Prozesskontrolle und Qualitätssicherung im Bereich der Herstellung von Silizium-Wafern sollen die Möglichkeiten der zerstörungs- und kontaktfreien Raman-Spektroskopie erforscht und weiterentwickelt werden. Die Raman-Spektroskopie findet bisher primär Anwendung in der wissenschaftlichen Forschung und in der Analyse von pharmazeutischen Produkten. Der große Vorteil dieser spektroskopischen Methode liegt darin, dass keine spezielle Probenpräparation nötig ist. Dies ermöglicht einen Einsatz über den gesamten Herstellungsprozess in der Silizium-Halbleiter-Produktion und somit eine durchgehende Überwachung der Herstellungsqualität. So bietet sich diese Methode nicht nur zur Bestimmung der Oberflächenbeschaffenheit direkt im Anschluss an den Sägevorgang an, sondern ermöglicht auch die Detektion von Restverschmutzungen auf der bearbeiteten Werkstückoberfläche (Stichwort: "organische Reste").
Leiter / KontaktProf. Dr. rer. nat. Stefan Schweizer
Ausführende StelleFB Elektrische Energietechnik, Standort Soest
Drittmittelgeber / FörderungBundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi), 10115 Berlin
Gepl. Projektzeitraum01.07.2016 - 30.06.2019